Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов
|
|
| Creator |
Турцевич, А.С.
|
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Исследовано влияние условий осаждения на структуру и электрофизические свойства пленок поликристаллического кремния, легированного кислородом. Результаты использованы при изготовлении изделий силовой электроники.
|
|
| Date |
2013-12-30T23:07:45Z
2013-12-30T23:07:45Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Получение полуизолирующего кремния для высоковольтных приборов / А.С. Турцевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 35-41. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52391 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|