Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
|
|
| Creator |
Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Рассмотрены модель возникновения дефектов на поверхности поликристаллического кремния при обработке полупроводниковых пластин в травителе, а так-же модель удаления этих дефектов в растворах химикатов.
|
|
| Date |
2013-12-30T23:11:32Z
2013-12-30T23:11:32Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 1. — С. 42-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52392 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|