Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
|
|
| Creator |
Дружинин, А.А.
Голота, В.И. Когут, И.Т. Сапон, С.В. Ховерко, Ю.М. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода.
|
|
| Date |
2014-01-03T23:17:30Z
2014-01-03T23:17:30Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов / А.А. Дружинин, В.И. Голота, И.Т. Когут, С.В. Сапон, Ю.М. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 5. — С. 43-49. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52488 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|