Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем
|
|
| Creator |
Родионов И.А., И.А.
Макарчук, В.В. |
|
| Subject |
Электронные средства: исследования, разработки
|
|
| Description |
На основании проведенных исследований был спроектирован фотошаблон для отработки режимов фотолитографии и дальнейшего изучения влияния эффектов оптической близости.
|
|
| Date |
2014-01-07T18:46:50Z
2014-01-07T18:46:50Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Коррекция оптических эффектов близости при проектировании микросхем / И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 30-32. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52809 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|