Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
|
|
| Creator |
Бойко, Ю.В.
Кузнецов, Г.В. Савицкий, С.М. Третяк, О.В. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней.
|
|
| Date |
2014-01-07T19:17:54Z
2014-01-07T19:17:54Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52818 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|