Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля
|
|
| Creator |
Крылов, В.Н.
Щербакова, Г.Ю. Козина, Ю.Ю. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Разработана система автоматизированного оптического позиционирования фотошаблонов интегральных схем, которая имеет высокие показатели помехоустойчивости и точности.
|
|
| Date |
2014-01-07T19:20:12Z
2014-01-07T19:20:12Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Позиционирование изображений фотошаблонов в системах автоматизированного оптического контроля / В.Н. Крылов, Г.Ю. Щербакова, Ю.Ю. Козина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 61-64. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52819 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|