Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
|
|
| Creator |
Шарапов, В.М.
Гуржий, А.Н. Филимонов, С.А. |
|
| Subject |
Электронные средства: исследования, разработки
|
|
| Description |
Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0.
|
|
| Date |
2014-01-07T22:58:57Z
2014-01-07T22:58:57Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52825 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|