Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
|
|
Creator |
Глушко, А.А.
Родионов, И.А. Макарчук, В.В. |
|
Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
Description |
Рассмотрены особенности технологических процессов изготовления субмикронных КМОП СБИС и их моделирования. Особое внимание уделено моделированию примесного профиля.
|
|
Date |
2014-01-07T23:16:03Z
2014-01-07T23:16:03Z 2007 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD / А.А. Глушко, И.А. Родионов, В.В. Макарчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 32-34. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52830 |
|
Language |
ru
|
|
Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|