Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
|
|
| Creator |
Белянин, А.Ф.
Паль, А.Ф. Самойлович, М.И. Суетин, Н.В. Дзбановский, Н.Н. Митин, В.С. Пащенко, П.В. Тимофеев, М.А. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Исследованы пленки Ir и алмаза в зависимости от условий получения. Рассмотрено применение поликластерных пленок алмаза в качестве теплоотводов ГИС и управляющих сеток электронных приборов.
|
|
| Date |
2014-01-08T22:10:54Z
2014-01-08T22:10:54Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза / А.Ф. Белянин, А.Ф. Паль, М.И. Самойлович, Н.В. Суетин, Н.Н. Дзбановский, В.С. Митин, П.В. Пащенко, М.А. Тимофеев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 6. — С. 50-56. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52895 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|