Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
|
|
Creator |
Жавжаров, Е.Л.
Матюшин, В.М. |
|
Subject |
Материалы электроники
|
|
Description |
Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров.
|
|
Date |
2014-01-14T23:14:48Z
2014-01-14T23:14:48Z 2006 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52976 |
|
Language |
ru
|
|
Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|