Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
|
|
| Creator |
Белянин, А.Ф.
Кривченко, В.А. Лопаев, Д.В. Павлушкин, Л.В. Пащенко, П.В. Пирогов, В.Г. Поляков, С.Н. Суетин, Н.В. Сушенцов, Н.И. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем.
|
|
| Date |
2014-01-19T22:30:21Z
2014-01-19T22:30:21Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53399 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|