Получение и свойства пористого карбида кремния
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Получение и свойства пористого карбида кремния
|
|
| Creator |
Светличная, Л.А.
Московченко, Н.Н. Серба П.В. |
|
| Subject |
Материалы электроники
|
|
| Description |
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
|
|
| Date |
2014-01-21T20:43:53Z
2014-01-21T20:43:53Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53530 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|