Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
|
|
| Creator |
Панфилов, Ю.В.
Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов.
|
|
| Date |
2014-01-22T22:01:04Z
2014-01-22T22:01:04Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53554 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|