Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
|
|
| Creator |
Крапивко, Г.И.
|
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.
|
|
| Date |
2014-01-22T22:07:08Z
2014-01-22T22:07:08Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53555 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|