Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs
|
|
| Creator |
Вакив, Н.М.
Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. |
|
| Subject |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
|
|
| Description |
Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs.
|
|
| Date |
2014-01-23T00:05:37Z
2014-01-23T00:05:37Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53574 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|