Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
|
|
| Creator |
Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И. Ковальский, К.А. Петухов, К.Ю. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники.
|
|
| Date |
2014-01-25T11:15:44Z
2014-01-25T11:15:44Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53609 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|