Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
|
|
| Creator |
Ануфриев, Л.П.
Баранов, В.В. Соловьев, Я.А. Тарасиков, М.В. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Термическое испарение палладия в высоком вакууме позволяет получать слои Pd₂Si непосредственно в процессе напыления без последующей термообработки.
|
|
| Date |
2014-01-25T11:18:37Z
2014-01-25T11:18:37Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки / Л.П. Ануфриев, В.В. Баранов, Я.А. Соловьев, М.В. Тарасиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 55-56. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53610 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|