Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
|
|
| Creator |
Рогов, Р.В.
Мельничук, С.В. Воробец, Г.И. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса.
|
|
| Date |
2014-01-25T13:00:41Z
2014-01-25T13:00:41Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53633 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|