Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge
|
|
| Creator |
Олих, Я.М.
Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. |
|
| Subject |
Материалы для микроэлектроники
|
|
| Description |
На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука.
|
|
| Date |
2014-02-01T21:28:28Z
2014-02-01T21:28:28Z 2004 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/54421 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|