Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками
|
|
| Creator |
Гончаров, О.А.
Євсюков, А.М. Костін, Є.Г. Фролова, О.К. |
|
| Subject |
Плазма і гази
|
|
| Description |
Наведено результати експериментального дослiдження плазмодинамiчних i оптичних характеристик цилiндричного газового розряду магнетронного типу в умовах безперервного контролю спектра, випромiнюваного плазмою в дiапазонi 350–820 нм. Визначено умови для синтезу бiнарної сполуки TiО₂, якi забезпечуються пiдтримкою величини iнтенсивностi спектральних лiнiй реагуючих компонентiв i плазмоутворюючого газу. Розглянуто можливiсть контролю умов одержання плiвок TiО₂ як по спектральних характеристиках плазми розряду, так i по змiнi розрядної напруги. Елiпсометричнi дослiдження нанокристалiчних плiвок двооксиду титану показали наявнiсть залежностi показника переломлення вiд товщини плiвки.
We present the results of experimental researches of plasmodynamic and optical characteristics of a magnetron-type cylindrical gas discharge. The study was carried out provided a permanent monitoring of the spectrum emitted by plasma in the range 350–820 nm. For the synthesis of binary compound TiO₂, we have determined conditions which can be ensured by a support of the intensity of spectral lines emitted by reacting components and plasma-forming gas. A possibility to control the conditions of the fabrication of a TiO₂ film with the use of both the spectral characteristics of a discharge plasma and a variation of the discharge voltage has been analyzed. Ellipsometric and spectral studies of nanocrystalline titanium dioxide films revealed the dependence of the refractive index of a film on the film thickness. Приведены результаты экспериментального исследования плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого плазмой в диапазоне 350–820 нм. Определены условия для синтеза бинарного соединения TiО₂, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Рассмотрена возможность контроля условий получения пленок TiO₂ как по спектральным характеристикам плазмы разряда, так и по изменению разрядного напряжения. Эллипсометрические и спектральные исследования нанокристаллических пленок диоксида титана показали наличие зависимости показателя преломления от толщины пленки. |
|
| Date |
2014-02-14T18:41:46Z
2014-02-14T18:41:46Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками / О.А. Гончаров, А.М. Євсюков, Є.Г. Костін, О.К. Фролова // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 677-684. — Бібліогр.: 16 назв. — укр.
2071-0194 PACS 52.25.Tx, 52.25.Xz, 52.70.Kz http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56216 533.9 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Український фізичний журнал
|
|
| Publisher |
Відділення фізики і астрономії НАН України
|
|