Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
|
|
| Creator |
Спирин, В.Г.
|
|
| Subject |
Проектирование. Конструирование
|
|
| Description |
Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам.
|
|
| Date |
2014-02-14T23:00:18Z
2014-02-14T23:00:18Z 2004 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56230 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|