Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
|
|
| Creator |
Куликовський, B.Ю.
Іващенко, В.І. Даниленко, М.І. Vorlicek, V. Ctvrtlik, R. Stranyanek, M. Іващенко Л.А. |
|
| Subject |
Тонкие пленки и другие двумерные объекты
|
|
| Description |
Магнетронним розпиленням мішені B₄C виготовлено аморфні та кристалічні плівки. Досліджено їхній склад, твердість, модуль пружності, внутрішні напругий структуру залежно від зміщення на підкладці та її температури.
Магнетронным распылением мишени B₄C приготовлены аморфные и кристаллические пленки. Исследовали их состав, твердость, модуль упругости, внутренние напряжения и структуру в зависимости от смещения на подложке иее температуры. Amorphous and crystalline B₄C films were prepared by magnetron sputtering. Film composition, hardness, elastic module, internal tensions and structure were studded depending on substrate bias and substrate temperature (TS). It was established that hardness and elastic module decrease |
|
| Date |
2014-05-23T19:51:04Z
2014-05-23T19:51:04Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C / B.Ю. Куликовський, В.І. Іващенко, М.І. Даниленко, V. Vorlicek, R. Ctvrtlik, M. Stranyanek, Л.А. Іващенко // Наноструктурное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 83-92. — Бібліогр.: 20 назв. — укр.
1996-9988 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/62641 539.217.23.4.461 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Наноструктурное материаловедение
|
|
| Publisher |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
|
|