Запис Детальніше

Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота

Vernadsky National Library of Ukraine

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота
 
Creator Фирстов, С.А.
Куликовский, В.Ю.
Рогуль, T.Г.
Ctvrtlik, R.
Пономарев, С.С.
Ковыляев, В.В.
Зелявский, В.Б.
 
Subject Фуллерены, нанотрубки и одномерные нанообъекты
 
Description В работе представлены результаты исследования влияния малых добавок кислорода и азота на структуру и механические свойства пленок титана, полученных магнетронным распылением. Показано, что увеличение в пленках концентрации атомов кислорода (азота) до ~6 ат.% ведет к уменьшению размера зерен, повышению сжимающих напряжений и значительному росту твердости материала.
У роботі наведено результати дослідження впливу малих добавок кисню й азоту на структуру та механічні властивості плівок титану, отриманих магнетронным розпиленням. Показано, що збільшення у плівках концентрації атомів кисню (азоту) до ~6 ат.% призводить до зменшення розмірів зерен, підвищення стискальної напруги й значного зростання твердості матеріалу.
Influence of small concentrations of oxygen and nitrogen on the structure and mechanical properties of sputtered titanium films are presented. The increase of oxygen (nitrogen) concentration up to ~6 at.% results in grain size decrease, increase of compressive stress and significant growth of film hardness.
 
Date 2014-05-25T19:34:36Z
2014-05-25T19:34:36Z
2011
 
Type Article
 
Identifier Механические свойства нанокристаллических пленок Ti с малыми концентрациями кислорода и азота / С.А. Фирстов, В.Ю. Куликовский, T.Г. Рогуль, R. Ctvrtlik, С.С. Пономарев, В.В. Ковыляев, В.Б. Зелявский // Наноструктурное материаловедение. — 2011. — № 2. — С. 28-36. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
1996-9988
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/62778
538.9
 
Language ru
 
Relation Наноструктурное материаловедение
 
Publisher Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України