Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
|
|
| Creator |
Варшавская, И.Г.
Буховец, В.Л. |
|
| Subject |
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
|
|
| Description |
Исследовано осаждение пленок гидрогенизированного аморфного углерода из смеси циклогексанаргона и метана в низкотемпературной плазме тлеющего разряда при использовании двух электрических разрядов: частотой 50 Гц для создания проводящей среды и активации газа в положительном столбе тлеющего разряда, 5–80 и 250 кГц для управления потоком ионов на поверхность осаждения, а также соотношение параметров процесса, свойств и микроструктуры пленок.
Досліджено осадження плівок гидрогенізованого аморфного вуглецю з суміші циклогексанаргону і метану в низькотемпературній плазмі тліючого розряду при використанні двох електричних розрядів: частотою 50 Гц для створення провідного середовища та активації газу в позитивному стовпі тліючого розряду, 5-80 і 250 кГц для управління потоком іонів на поверхню осадження, а також співвідношення параметрів процесу, властивостей і мікроструктури плівок. Deposition of hydrogenated amorphous carbon films in low-temperature cyclohexan-argon and methane plasma of glow discharge was studied. Two electric discharges were applied: for creation of conductive medium and gas activation in positive column of glow discharge (50 Hz) and for ion flux training onto deposition surface (5-80 kHz and 250 kHz). Relation between the process parameters, properties and microstructure of carbon films was examined. |
|
| Date |
2014-05-31T08:45:27Z
2014-05-31T08:45:27Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда / И.Г. Варшавская, В.Л. Буховец // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 385-389. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2223-3938 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63269 546.26:432.2 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
|
|
| Publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
|
|