Запис Детальніше

Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда

Vernadsky National Library of Ukraine

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда
 
Creator Варшавская, И.Г.
Буховец, В.Л.
 
Subject Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора
 
Description Исследовано осаждение пленок гидрогенизированного аморфного углерода из смеси циклогексанаргона и метана в низкотемпературной плазме тлеющего разряда при использовании двух электрических разрядов: частотой 50 Гц для создания проводящей среды и активации газа в положительном столбе тлеющего разряда, 5–80 и 250 кГц для управления потоком ионов на поверхность осаждения, а также соотношение параметров процесса, свойств и микроструктуры пленок.
Досліджено осадження плівок гидрогенізованого аморфного вуглецю з суміші циклогексанаргону і метану в низькотемпературній плазмі тліючого розряду при використанні двох електричних розрядів: частотою 50 Гц для створення провідного середовища та активації газу в позитивному стовпі тліючого розряду, 5-80 і 250 кГц для управління потоком іонів на поверхню осадження, а також співвідношення параметрів процесу, властивостей і мікроструктури плівок.
Deposition of hydrogenated amorphous carbon films in low-temperature cyclohexan-argon and methane plasma of glow discharge was studied. Two electric discharges were applied: for creation of conductive medium and gas activation in positive column of glow discharge (50 Hz) and for ion flux training onto deposition surface (5-80 kHz and 250 kHz). Relation between the process parameters, properties and microstructure of carbon films was examined.
 
Date 2014-05-31T08:45:27Z
2014-05-31T08:45:27Z
2011
 
Type Article
 
Identifier Получение аморфных пленок гидрогенизированного углерода низкотемпературной плазме тлеющего разряда / И.Г. Варшавская, В.Л. Буховец // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2011. — Вип. 14. — С. 385-389. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2223-3938
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63269
546.26:432.2
 
Language ru
 
Relation Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
 
Publisher Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України