Запис Детальніше

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

Vernadsky National Library of Ukraine

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
 
Creator Дуб, С.Н.
Гончаров, А.А.
Петухов, В.В.
 
Subject Получение, структура, свойства
 
Description Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta—B—N по сравнению с нанокристаллическими пленками TaB₂. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязко-упругое механическое поведение тонких пленок системы Ta—B—N.
 
Date 2014-05-31T19:15:15Z
2014-05-31T19:15:15Z
2009
 
Type Article
 
Identifier Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
0203-3119
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63380
549.2:539.1
 
Language ru
 
Relation Сверхтвердые материалы
 
Publisher Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України