Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N
|
|
| Creator |
Дуб, С.Н.
Гончаров, А.А. Петухов, В.В. |
|
| Subject |
Получение, структура, свойства
|
|
| Description |
Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta—B—N по сравнению с нанокристаллическими пленками TaB₂. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязко-упругое механическое поведение тонких пленок системы Ta—B—N.
|
|
| Date |
2014-05-31T19:15:15Z
2014-05-31T19:15:15Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
0203-3119 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63380 549.2:539.1 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Сверхтвердые материалы
|
|
| Publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
|
|