Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой
|
|
| Creator |
Свиридов, В.В.
Радкевич, Н.А. Жихарев, И.В. |
|
| Description |
Скомпонован сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой. Эллипсометр апробирован при измерениях оптических параметров стандартного образца из кварца КУ-1. Получено удовлетворительное соответствие результатов эксперимента по брюстеровскому отражению с результатами эллипсометрических измерений и с установленными стандартами по показателям преломления и поглощения для объемного образца. Установлено, что при прочих равных условиях примененное аппаратное решение дает возможность осуществлять измерения оптических параметров поверхности образца с точностью до двух-трех единиц четвертого знака. Показана возможность проведения исследований приповерхностных слоев образцов со сложными поверхностями.
The scanning ellipsometer is composed on the basis of a direction gauge with an autocollimation tube. The ellipsometer has been tested by measuring optical parameters of a standard sample from quartz КУ-1. A satisfactory correspondence of the outcomes of the experiment on Bruster reflection to the results of ellipsometric measurements and to established standards on reflection index and index of absorption for a volumetric sample has been obtained. It has been proved that in other equal conditions the applied hardware solution enables to conduct measurements of optical parameters of a sample surface with the precision of 2−3 units of the fourth character. The possibility of research of nearsurface layers of complex samples is demonstrated. |
|
| Date |
2014-10-31T17:26:17Z
2014-10-31T17:26:17Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Сканирующий эллипсометр на базе гониометра с автоколлимационной трубой / В.В. Свиридов, Н.А. Радкевич, И.В. Жихарев // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 2. — С. 71-77. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
0868-5924 PACS: 78.68.+m http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70229 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физика и техника высоких давлений
|
|
| Publisher |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
|
|