Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере
|
|
| Creator |
Шалаев, Р.В.
Прудников, А.М. Варюхин, В.Н. Турка, В.Н. Яковец, А.А. Жихарев, И.В. Беляев, Б.В. Грицких, В.А. |
|
| Description |
Представлены результаты исследований роста аморфных пленок нитрида углерода a-C:N в условиях интенсивных процессов травления на ростовой поверхности. Обнаружены значительное изменение фазового состава получаемых пленок при различной концентрации травящих компонент в ростовой атмосфере и образование трех принципиально различных типов пленок a-C:N.
Results of researches of the carbon nitride films a-C:N growth in conditions of intensive etching processes on the growth surface are presented. Significant change in phase structure of obtained films at various etching component concentrations in the growth atmosphere and formation of three essentially various types of a-C:N films are revealed. |
|
| Date |
2014-11-01T08:08:31Z
2014-11-01T08:08:31Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере / Р.В. Шалаев, А.М. Прудников, В.Н. Варюхин, В.Н. Турка, А.А. Яковец, И.В. Жихарев, Б.В. Беляев, В.А. Грицких // Физика и техника высоких давлений. — 2006. — Т. 16, № 3. — С. 88-95. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
0868-5924 PACS: 81.15.Gh, 81.60.−j http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70245 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физика и техника высоких давлений
|
|
| Publisher |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
|
|