Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления
|
|
| Creator |
Белецкая, О.Е.
Башев, В.Ф. Куцева, Н.А. Доценко, Ф.Ф. Рябцев, С.И. |
|
| Description |
В широких концентрационных интервалах исследован фазовый состав, электрические свойства и параметры ближнего порядка свеженапыленных и термообработанных пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных модернизированным методом ионноплазменного напыления (ИПН). В исходном свеженапыленном состоянии пленки с содержанием ~ (22−75) at.% легирующего элемента (Nb или Ta) состоят либо из рентгеноаморфной (РАФ), либо из аморфно-кристаллической (РАФ + К) фаз. При отжиге в вакууме (10⁻³ Pа) некристаллические фазы не распадаются вплоть до температур, при которых начинается интенсивное окисление пленок. Примененный в работе метод ИПН позволяет получать рентгеноаморфные пленки Al−Nb и Al−Ta в широких концентрационных интервалах с различными номиналами поверхностного электросопротивления ρS и прецизионными значениями температурного коэффициента сопротивления (ТКС).
The phase composition, electrical properties and parameters of short range order of the Al−Nb and Al−Ta films were researched in the wide concentration intervals. The films were obtained by the modified method of ion-plasma sputtering (IPS). The films with 22−75 at.% of alloying elements (Nb or Ta) consist of amorphous or amorphous and crystalline phases in initial state. The non-crystalline phases are stable up to temperatures of intensive oxidation of films at annealing in vacuum. The IPS method allows obtaining of homogeneous Al−Nb and Al−Ta films with wide nominal values of sheet electrical resistance and precision values of temperature coefficient of resistance. |
|
| Date |
2014-11-03T18:35:25Z
2014-11-03T18:35:25Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Особенности фазообразования и физические свойства пленок Al−Nb и Al−Ta, полученных методом ионно-плазменного напыления / О.Е. Белецкая, В.Ф. Башев, Н.А. Куцева, Ф.Ф. Доценко, С.И. Рябцев // Физика и техника высоких давлений. — 2007. — Т. 17, № 3. — С. 27-37. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
0868-5924 PACS: 81.15.Fg, 61.43.Dq, 64.60.My, 73.61.−r http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70363 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физика и техника высоких давлений
|
|
| Publisher |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
|
|