Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
|
|
| Creator |
Лебедева, Т.С.
Шпилевой, П.Б. Войтович, И.Д. |
|
| Subject |
Технология производства
|
|
| Description |
Приведены основы метода контролируемого анодного окисления ("анодной спектроскопии"), методики его применения, результаты исследований многослойных тонкопленочных структур. Получены и проанализированы профили анодирования структур, сформированных при осаждении пленок Nb и Al электронно-лучевым способом и магнетроном, с формированием барьерного оксида AlOx термическим окислением и в тлеющем разряде магнетрона. Продемонстрировано применение метода для контроля формирования наноструктурированных анодных пленок оксида алюминия. Показана плодотворность метода для экспресс-контроля тонкопленочных технологий.
|
|
| Date |
2014-11-11T06:43:36Z
2014-11-11T06:43:36Z 2003 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур / Т.С. Лебедева, П.Б. Шпилевой, И.Д. Войтович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70698 539.216.2:691.5 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|