Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
|
|
| Creator |
Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. Пономарь, В.Н. Шикуло, В.Е. |
|
| Subject |
Технология производства
|
|
| Description |
Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".
|
|
| Date |
2014-11-11T06:45:54Z
2014-11-11T06:45:54Z 2003 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70699 537.311 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|