Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
|
|
| Creator |
Сидоренко, В.П.
Кизяк, А.Ю. Николаенко, Ю.Е. |
|
| Subject |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
|
|
| Description |
Рассмотрено влияние микродефектов, а также примесей кислорода и углерода в кремниевой подложке на пробивное напряжение неуправляемого n⁺⁺-p⁺-перехода. Кратко рассмотрен механизм влияния примеси кислорода на тип пробоя. Рассмотрены возможности практического использования результатов данной работы в технологии изготовления СБИС.
|
|
| Date |
2014-11-11T15:16:34Z
2014-11-11T15:16:34Z 2003 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n⁺⁺-p⁺-перехода / В.П. Сидоренко, А.Ю. Кизяк, Ю.Е. Николаенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 56-58. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70724 621.315.592 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|