Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
|
|
| Creator |
Полтавцев, Ю.Г.
Вирченко, П.Т. Костюк, В.В. |
|
| Subject |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
|
|
| Description |
Методом радиоактивных изотопов исследована десорбция катионов (Na¹⁺, Fe³⁺, Cu2⁺, Ag¹⁺) и атомов (Au) металлов и анионов S²⁻ и Cl¹⁻ с поверхности кремниевых пластин КДБ-10 ориентации (100) и (110) при их обработке при 70°С в перекисно-аммиачных растворах трех составов.
|
|
| Date |
2014-11-11T15:18:18Z
2014-11-11T15:18:18Z 2003 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах / Ю.Г. Полтавцев, П.Т. Вирченко, В.В. Костюк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 59-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70725 621.382+681.3 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|