Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
|
|
| Creator |
Касимов, Ф.Д.
Лютфалибекова, А.Э. |
|
| Subject |
Проектирование. Конструирование
|
|
| Description |
Проведен математический расчет упругих механических напряжений в двухслойных структурах с отличающимися упругими постоянными пленки и подложки. Выведена формула, показывающая, что возникающие в пленке механические напряжения пропорциональны ее толщине и температуре осаждения и обратно пропорциональны толщине подложки.
|
|
| Date |
2014-11-11T19:51:04Z
2014-11-11T19:51:04Z 2002 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 13-14. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70736 621.382 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|