Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
|
|
| Creator |
Адарчин, С.А.
Кужненков, А.С. Кожитов, Л.В. Косушкин, В.Г. |
|
| Subject |
Датчики
|
|
| Description |
Установлен механизм деградации и возникновения отказов микроэлектромеханических структур датчиков давления. Предложена математическая модель изменения величины температурного гистерезиса выходного сигнала датчиков, установлена степень его влияния на надежность приборов. Предложены способы уменьшения величины и снижения скорости возрастания гистерезиса выходного сигнала микроэлектромеханических структур.
|
|
| Date |
2014-11-11T20:03:54Z
2014-11-11T20:03:54Z 2002 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления / С.А. Адарчин, А.С. Кужненков, Л.В. Кожитов, В.Г. Косушкин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 55-57. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70744 621.382 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|