Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
|
|
| Creator |
Кренделев, А.Е.
|
|
| Subject |
Технология производства
|
|
| Description |
Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при применении полимерных подложек, методов ионного травления с использованием источника ионов типа Кауфмана и при использовании магнетронного распыления металлов.
|
|
| Date |
2014-11-13T06:15:26Z
2014-11-13T06:15:26Z 2002 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70788 621.385.69 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|