Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
|
|
| Creator |
Искендер-заде, З.А.
Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. |
|
| Subject |
Технология производства
|
|
| Description |
Показано, что с помощью лазерной рекристаллизации пленок поликристаллического кремния удается получить высококачественные монокристаллические слои, что позволяет изготавливать в них элементы функциональных микросхем, в частности, датчики Холла.
|
|
| Date |
2014-11-13T06:16:53Z
2014-11-13T06:16:53Z 2002 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем / З.А. Искендер-заде, Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 40-42. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70789 621.382.002 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|