Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
|
|
| Creator |
Касимов, Ф.Д.
Исмайлова, С.А. |
|
| Subject |
Датчики
|
|
| Description |
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров.
|
|
| Date |
2014-11-15T08:41:39Z
2014-11-15T08:41:39Z 2001 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70828 621.315.592 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|