Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур
|
|
| Creator |
Гаджиев, Э.М.
Гусейнов, Я.Ю. Исмайлов, Н.М. Касимов, Ф.Д. |
|
| Subject |
Качество. Надежность
|
|
| Description |
Исследовано влияние γ-излучения на параметры границы раздела Si-SiO₂ МОП-структур в зависимости от технологических режимов их получения.
|
|
| Date |
2014-11-15T10:46:28Z
2014-11-15T10:46:28Z 2001 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых МОП-структур / Э.М. Гаджиев, Я.Ю. Гусейнов, Н.М. Исмайлов, Ф.Д. Касимов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 28-30. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70837 621.315.592 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|