Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
|
|
Creator |
Агеев, О.А.
Светличный, А.М. Ковалев, Н.А. Разгонов, Р.Н. |
|
Subject |
Технология производства
|
|
Description |
Проведен обзор работ, в которых исследовались контактные системы на карбиде кремния. Рассмотрено влияние различных факторов на выпрямляющие свойства контактов, а именно, влияние предварительной обработки поверхности образца до нанесения металла и термообработки сформированной системы "металл—карбид кремния" на высоту барьера. Проведен анализ экспериментальных данных.
|
|
Date |
2014-11-15T10:49:39Z
2014-11-15T10:49:39Z 2001 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC / О.А. Агеев, А.М. Светличный, Н.А. Ковалев, Р.Н. Разгонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 37-41. — Бібліогр.: 24 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70839 621.315.592 |
|
Language |
ru
|
|
Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|