Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
|
|
| Creator |
Головяшкин, А.Н.
Лежнев, Д.В. |
|
| Subject |
Технология производства
|
|
| Description |
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва.
|
|
| Date |
2014-11-15T10:50:58Z
2014-11-15T10:50:58Z 2001 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70840 621.382 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|