Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления
|
|
| Creator |
Брайловский, В.В.
Иларионов, О.Е. |
|
| Subject |
Технология производства
|
|
| Description |
Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле.
|
|
| Date |
2014-11-15T10:53:12Z
2014-11-15T10:53:12Z 2001 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70842 621.793.184:621.3.049.76 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|