Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
|
|
| Creator |
Черняк, Н.Г.
Стеценко, О.В. |
|
| Subject |
Сенсоэлектроника
|
|
| Description |
Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин.
|
|
| Date |
2014-11-15T19:02:01Z
2014-11-15T19:02:01Z 2001 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70894 531.767 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|