Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления
|
|
| Creator |
Будянский, А.М.
Фареник, В.И. Яцков, А.П. |
|
| Subject |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
|
|
| Description |
Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от приложенного к разряду ВЧ-напряжения. Показаны пути создания алгоритма настройки системы, исключающего возникновение скачков.
|
|
| Date |
2014-11-15T19:05:12Z
2014-11-15T19:05:12Z 2001 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70896 539.23 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|