Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме
|
|
| Creator |
Крушинская, Л.А.
Стельмах, Я.А. |
|
| Description |
Исследованы зависимости морфологии поверхности, структуры и фазового состава толстых конденсатов Al₂O₃, полученных методом EBPVD, от температуры конденсации. Обнаружено присутствие наноструктурной составляющей различной морфологии и фазового состава в широком интервале температур конденсации. Приведены также результаты измерений микротвёрдости и электрической прочности конденсатов оксида алюминия.
Досліджено залежності морфології поверхні, структури і фазового складу товстих конденсатів Al₂O₃, одержаних методою EBPVD, від температури конденсації. Виявлено присутність наноструктурної складової різної морфології та фазового складу в широкому інтервалі температур конденсації. Наведено також результати міряння мікротвердости та електричної міцности конденсатів оксиду алюмінію. The dependences of surface morphology, structure, and phase composition of thick Al₂O₃ condensates obtained by EBPVD on the condensation temperature are studied. The presence of nanostructured components of different morphology and phase composition in a wide temperature condensation range is revealed. The results of measurements of the microhardness and electric strength of aluminium-oxide condensates are presented. |
|
| Date |
2015-01-06T14:25:45Z
2015-01-06T14:25:45Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Структура и некоторые свойства толстых конденсатов оксида алюминия, получаемых электронно-лучевым испарением и осаждением паровой фазы в вакууме / Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2010. — Т. 8, № 4. — С. 1003-1014. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
1816-5230 PACS numbers: 62.20.Qp, 68.37.Lp, 81.05.Je, 81.15.Ef, 81.15.Jj, 81.40.Wx, 85.40.Sz http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/73202 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
|
|
| Publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
|
|