Запис Детальніше

Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии

Vernadsky National Library of Ukraine

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии
 
Creator Ходаковский, Н.И.
Ларкин, С.Ю.
Галстян, Г.Г.
 
Description В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур.
У роботі досліджено зондові методи побудови наноелектронних приладів та їх діягностики з використанням електростатичної силової мікроскопії. Розглянуто шляхи підвищення інформативности мірянь розподілів зарядів і потенціялів у процесі одержання елементів наноструктур.
Probe methods for nanoelectronic devices design and their diagnostics using electrostatic force microscopy are studied. The ways of increasing of information capability of measurements of the charge and potentials distributions in the process of formation of nanostructure elements are analysed.
 
Date 2015-01-21T18:21:56Z
2015-01-21T18:21:56Z
2011
 
Type Article
 
Identifier Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии / Н.И. Ходаковский, С.Ю. Ларкин, Г.Г. Галстян // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2011. — Т. 9, № 3. — С. 535-542. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
1816-5230
PACS numbers: 07.79.-v, 68.37.-d, 81.16.Rf, 81.16.Ta, 85.35.-p
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/74588
 
Language ru
 
Relation Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
 
Publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України