Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особливості топометрії наноструктур методою атомно-силової мікроскопії
|
|
| Creator |
Литвин, О.С.
Литвин, П.М. Прокопенко, І.В. Шеремета, Т.І. |
|
| Description |
На прикладі реальних наноструктурованих поверхонь проаналізовано характерні особливості застосування метод мінімізації «ефекту зонду» в топометричних дослідженнях методою сканівної атомно-силової мікроскопії (АСМ). Подано практичні параметри оцінки ефективности комп’ютерної реконструкції зображень поверхні та її оптимізації. Показано, що комплексне застосування ріжних способів мінімізації спотворень геометричних розмірів наноструктурних елементів поверхонь, які виникають внаслідок скінченности розмірів вістря зонду, забезпечує одержання адекватних топометричних даних. Peculiarities of ‘tip effect’ minimization techniques’ usage in topometric investigations using scanning atomic force microscopy are analyzed using real nanostructured surfaces as examples. Practical parameters for the computer surface-image reconstruction efficiency evaluation and optimization are presented. As shown, the combined use of various techniques for minimization of distortions in geometrical sizes of surface nanostructures caused by finite tip sizes provides adequate topometric data. В работе на примере реальных наноструктурированных поверхностей проанализированы особенности применения методов минимизации «эффекта зонда» в топометрических исследованиях методом сканирующей атомносиловой микроскопии (АСМ). Представлены практические параметры оценки эффективности компьютерной реконструкции изображений поверхности и ее оптимизации. Показано, что комплексное применение разных способов минимизации искажений геометрических размеров наноструктурных элементов поверхностей, которые возникают вследствие конечных размеров острия зонда, обеспечивает получение адекватных топометрических данных. |
|
| Date |
2015-02-07T12:31:26Z
2015-02-07T12:31:26Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Особливості топометрії наноструктур
методою атомно-силової мікроскопії / О.С. Литвин, П.М. Литвин, І.В. Прокопенко, Т.І. Шеремета // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2008. — Т. 6, № 1. — С. 33-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.
1816-5230 PACS numbers :07.79.Lh,61.46.-w,68.37.Ps,68.65.-k,81.07.-b,81.16.Ta,82.37.Gk http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76014 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
|
|
| Publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
|
|