Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
|
|
| Creator |
Журавель, И.А.
Бугаев, Е.А. Девизенко, А.Ю. Першин, Ю.П. Кондратенко, В.В. |
|
| Description |
Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм.
Методом рентгенівського дифузного розсіювання на довжині хвилі 0,154 нм проведено дослідження шорсткості та перемішування на межах поділу багатошарових плівкових композицій Cr/Sc та Co/C із періодами ~ 5 – 7 нм, отриманих методом магнетронного розпилення при постійному струмі. Досліджений вплив на структуру меж поділу композицій Co/C годинного відпалу в інтервалі температур 100 – 330 °С. Отримані статистичні характеристики шорсткості меж поділу дозволяють передбачити рентгенооптичні характеристики багатошарових композицій, що використовуються у рентгенівській оптиці у діапазоні довжин хвиль 3 – 5 нм. Study of the interface roughness and diffuseness of the Cr/Sc and Co/C multilayer with ~ 5 – 7 nm the periods on 0,154 wavelength obtained by DC magnetron sputtering has been conducted by X-ray diffuse scattering method. Influence of hour time annealing in 100 – 330 °С temperature range on the Co/C interface structure has been established. Obtained statistical characteristics of interface roughness are useful to forecast X-ray optic characteristics of multilayers using in X-ray optics in 3 – 5 nm wavelength range. |
|
| Date |
2015-02-09T20:04:31Z
2015-02-09T20:04:31Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И.А. Журавель, Е.А. Бугаев, А.Ю. Девизенко, Ю.П. Першин, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2011. — Т. 9, № 2. — С. 134–141. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/76349 536.248.1; 539.26; 538.971 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Физическая инженерия поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|