Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
|
|
| Creator |
Аксьонов, І.І.
Білоус, В.А. |
|
| Subject |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
|
|
| Description |
Наведено стислий огляд розробок ННЦ ХФТІ, спрямованих на створення технологічного обладнання для осадження покриттів вакуумно-дуговим методом. Розроблюване обладнання мало бути адаптоване до умов індустріального виробництва, придатне для комерційного використання. Розглянуто результати розробок високоефективних торцевих джерел плазми, вакуумно-дугових випарювачів з протяглими (циліндричними та планарними) катодами, магнітні фільтри для очищення плазми від макрочасток, а також ряд установок для формування покриттів різного призначення.
|
|
| Date |
2015-03-12T20:07:23Z
2015-03-12T20:07:23Z 2000 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів / І.І. Аксьонов, В.А. Білоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 153-157. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.
1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78212 546.25.-162 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|