Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
|
|
| Creator |
Опалев, О.А.
Пашнев, В.К. Ковальчук, И.К. Стрельницкий, В.Е. Белоус, В.А. Колупаева, З.И. |
|
| Subject |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
|
|
| Description |
Целью настоящей работы является исследование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, как высокоэффективного средства для нанесения алмазной пленки и роста отдельных кристаллов алмаза, а также обсуждение процессов роста кристаллов алмаза и синтеза сплошной алмазной пленки на подложках из молибдена и вольфрама.
|
|
| Date |
2015-03-12T20:08:31Z
2015-03-12T20:08:31Z 2000 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем / О.А. Опалев, В.К. Пашнев, И.К. Ковальчук, В.Е. Стрельницкий, В.А. Белоус, З.И. Колупаева // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 4. — С. 158-164. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78213 546.26.-162 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|