Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
|
|
| Creator |
Юрченко, Г.В.
|
|
| Subject |
Пленочные материалы и покрытия
|
|
| Description |
Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре подложки 300°С, текстурированы в направлении [400] и имеют минимальный уровень микродеформаций и обладают оптимальным сочетанием оптических и электрических свойств.
|
|
| Date |
2015-03-13T06:45:37Z
2015-03-13T06:45:37Z 2000 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления / Г.В. Юрченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 5. — С. 97-98. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78241 537. 221:537.221 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|